郑州高纯气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。下面泉州天星气体有限公司就来为大家进行介绍。

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对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。

气体渗透性

不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管O铜管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管203从表看到，对于输送ppm级及更高纯度要求的气体，从气体渗透角度一定要选用不锈钢管或者钢管，如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料，那么，无论我们采取什么净化手段，都将是无济于事的。

出气速率

材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率很低。

吸附性

由于水分等杂质是很性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料很容易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性很强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

表面粗糙度和耐磨性

为了确保输送的郑州高纯气体纯净度，要求管道材料内表面有一个很高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。

抗腐蚀性

微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时一定要采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。

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